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德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台

更新时间:2022-06-07

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厂商性质:代理商

生产地址:

简要描述:
德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台,应用于扫描探针显微镜,原子力显微镜,扫描和筛选
品牌其他品牌价格区间面议
产地类别进口产品种类电动
应用领域医疗卫生,电子,综合

德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 压电扫描仪 纳米压电扫描仪 P-363.3CD


德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 压电扫描仪 纳米压电扫描仪 P-363.3CD


XY向上的螺距/偏转角:0.5微弧度

Z向运动时的倾斜:0.2微弧度


应用领域:

扫描探针显微镜

原子力显微镜

扫描和筛选


产品参数:

型号:P-363.3CD

主动轴:XYZ

集成传感器:电容式

-250+250伏时XY向上的开环行程:±3微米

-250+250伏时Z向上的开环行程:±2.7微米

XY向上的闭环行程:±2.5微米

Z向上的闭环行程:±2.5微米

分辨率,开环:0.03纳米

分辨率,闭环:0.1纳米

线性误差:0.05%

重复精度:1纳米

XY向上的螺距/偏转角:0.5微弧度

Z向运动时的倾斜:0.2微弧度

XY向上的直线度:3纳米

XY向上的平面度:<10纳米

XY向上的串扰(Z向运动):5纳米

XY向上的空载谐振频率:3.1千赫兹

Z向上的空载谐振频率:9.8千赫兹

带负载时XY向上的谐振频率:1.5(20)千赫兹

负载容量:10


德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 压电扫描仪 纳米压电扫描仪 P-363.3CD

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