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德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台

更新时间:2022-06-07

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厂商性质:代理商

生产地址:

简要描述:
德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台,扫描显微镜,共聚焦显微镜,掩模/晶圆定位,表面测量技术,纳米压印,显微操纵,图像处理/稳定
品牌其他品牌价格区间面议
产地类别进口产品种类电动
应用领域医疗卫生,电子,综合

德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 压电陶瓷纳米定位器 P-733.3CL


德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 压电陶瓷纳米定位器 P-733.3CL


应用领域:

扫描显微镜

共聚焦显微镜

掩模/晶圆定位

表面测量技术

纳米压印

显微操纵

图像处理/稳定

 

产品参数:

型号:P-733.3CL

主动轴:XYZ

集成传感器:电容式

-20120 伏时的开环行程:115 微米×115 微米×12 微米

行程,闭环:100 微米×100 微米×10 微米

分辨率,开环:0.2Z向上为0.1)纳米

分辨率,闭环:0.3Z向上为0.2)纳米

线性误差(XY):0.03%

线性误差(Z):0.03%

重复精度(XY):<2纳米

重复精度(Z):<1纳米

螺距(XY):<±3微弧度

偏转角(XY):<±10微弧度

Z向运动时的倾斜:<±5微弧度

刚度:1.4Z向上为9)牛/微米

谐振频率,空载:460Z向上为1400)赫兹

120 克负载时的谐振频率:340Z向上为1060)赫兹

200 克负载时的谐振频率:295Z向上为650)赫兹

运动方向上的推/拉力:50/20


德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 压电陶瓷纳米定位器 P-733.3CL

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