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德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台

更新时间:2023-11-10

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厂商性质:代理商

生产地址:

简要描述:
德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台,扫描显微镜,超分辨率显微镜,生物技术,掩模/晶圆定位,样本定位,干涉测量,计量
品牌其他品牌价格区间面议
产地类别进口产品种类电动
应用领域医疗卫生,电子,综合

德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 压电陶瓷位移台 P-541.XCD



应用领域:

扫描显微镜

超分辨率显微镜

生物技术

掩模/晶圆定位

样本定位

干涉测量

计量


产品参数:

型号:P-541.ZCD

主动轴:Z

集成传感器:电容式

-20120 伏时Z向上的开环行程:150微米

θX、θY向上-20120 伏时的开环偏摆角:–毫弧度

Z向上的闭环行程:100微米

θX、θY向上的闭环偏摆角:–毫弧度

Z向上的分辨率,开环:0.2纳米

θX、θY向上的开环分辨率:–微弧度

Z向上的闭环分辨率:0.5纳米

θX、θY向上的闭环分辨率:–微弧度

Z、θX、θY向上的线性误差:0.03%

Z向上的重复精度:<2纳米

θX、θY向上的重复精度:–微弧度

θX、θY向上的串扰(Z向运动):±15微弧度


产品参数:

型号:P-541.TCD

主动轴:Z,θX,θY

集成传感器:电容式

-20120 伏时Z向上的开环行程:150微米

θX、θY向上-20120 伏时的开环偏摆角:±0.6毫弧度

Z向上的闭环行程:100微米

θX、θY向上的闭环偏摆角:±0.4毫弧度

Z向上的分辨率,开环:0.2纳米

θX、θY向上的开环分辨率:0.02微弧度

Z向上的闭环分辨率:0.5纳米

θX、θY向上的闭环分辨率:0.08微弧度

Z、θX、θY向上的线性误差:0.03%

Z向上的重复精度:<2纳米

θX、θY向上的重复精度:0.01微弧度

θX、θY向上的串扰(Z向运动):±15微弧度


德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 压电陶瓷位移台 P-541.XCD




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