德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台

德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 线性平台 A-131.025A1

一、A-131.025A1线性平台产品特点：

25毫米行程，30牛负载，80米/平方秒加速度，搭载音圈驱动器。

二、A-131.025A1线性平台产品应用领域：

A-131.025A1线性平台主要应用领域为高速扫描，光电制造等。

三、A-131.025A1线性平台产品参数：

行程参数：

主动轴：X

行程：25毫米

精度参数：

螺距：10微弧度

偏转角：10微弧度

直线度/平面度：0.5微米

速度，空载：1米/秒

加速度，空载：80米/平方秒

集成传感器：增量线性编码器

传感器信号：正弦/余弦，1伏峰峰值，20微米信号周期

传感器分辨率：1.2纳米

双向重复性：±0.1微米

定位精度，未校准：±2.0微米

定位精度，已校准：±0.25微米

负载参数：

Z向负载能力：30牛

移动质量：0.85千克

总质量：3.6千克

导向类型：空气轴承

驱动参数：

驱动特性：A-131.025A1单位

驱动类型：无刷音圈驱动器，无铁芯，单相

中间电路电压，均方根：48，标称值；80，值伏直流

标称电流，均方根：3安

峰值电流，均方根：10安

峰值力：70.4牛

标称力：22.3牛

力常数，均方根：6.9牛/安

电阻：2.7欧姆

电感（1000赫兹时）：1.4毫亨

互感：6.9伏·秒/米

标称功率：28瓦

布线：内部，无移动电缆

其他参数：

工作压力：75至85磅 /平方英寸（520至585千帕）

耗气量：<1.0 SCFM (28 SLPM)

材料：硬膜铝，不锈钢固定硬件

德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 线性平台 A-131.025A1