瑞士GOTEC真空泵EKF17-60工作原理

 瑞士GOTEC真空泵EKF17-60工作原理

瑞士Gotec真空泵EKF17-60是一款高性能的真空泵，广泛应用于工业和科研领域。其工作原理基于旋片式真空泵的机制，通过机械运动实现高效的气体抽吸和真空环境的建立

一、工作原理
（一）旋片运动与泵腔容积变化
EKF17-60真空泵的核心部件是一个偏心安装的转子和若干弹性旋片。转子在电机的驱动下高速旋转，旋片在离心力和弹簧力的共同作用下，始终与泵腔内壁保持紧密接触。这种设计将泵腔分割成多个独立的抽气单元，其容积随着转子的旋转而周期性变化。
吸气阶段：当转子旋转时，旋片向外移动，泵腔容积增大，形成负压，气体通过进气口被吸入泵腔。
压缩阶段：随着转子继续旋转，旋片向内移动，泵腔容积减小，气体被压缩，压力升高。
排气阶段：当气体被压缩到一定程度后，通过排气口排出泵外。
（二）无油设计与清洁真空
EKF17-60采用无油设计，避免了传统油封真空泵中润滑油对真空环境的污染。这种设计特别适用于对真空清洁度要求较高的应用，如半导体制造、电子管生产等领域。
（三）高效能与低噪音运行
该真空泵通过优化的机械结构和电机驱动系统，实现了高效率的气体抽吸和低噪音运行。其运行过程平稳，振动小，适合长时间连续工作。
二、技术特点
（一）高真空度与大抽速
EKF17-60能够在较宽的压力范围内提供较大的抽速，极限真空度可达1×10⁻³Pa。这使其能够快速建立真空环境，满足多种工业和科研需求。
（二）低噪音与紧凑设计
该真空泵运行时噪音极低，结构紧凑，体积小，便于安装和集成到各种设备中。
（三）耐用性强
采用高品质材料和精密制造工艺，EKF17-60具有较长的使用寿命和较高的可靠性。
三、应用领域
EKF17-60真空泵适用于多种需要高真空环境的场合，包括但不限于：
半导体制造：用于光刻、蚀刻等工艺。
电子管生产：提供清洁的真空环境。
科研实验：用于物理、化学实验中的真空需求。
工业生产：如真空干燥、真空蒸馏等。

瑞士GOTEC真空泵EKF17-60工作原理