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德国SPS(POLOS)匀胶机仪器POLOS SPIN4000A
产品说明
我们产品组合中的新产品是POLOS SPIN4000A。这种强大的旋转涂布机系统是专为研究和所有应用的可变过程。它的特点是能够全自动操作。POLOS SPIN4000A代表了下一代全场旋涂系统。
POLOS SPIN4000A是一款独立的全自动旋涂系统。钢制外壳保证了无污染的工作区域,其组件确保了可重复、可编程的旋转过程,可反复旋转高达300 x 300mm毫米的基板。
特征
多达3个喷嘴的自动光刻胶分配器(可选)
8.5英寸触摸屏
真空泵
上盖(可选)
可定制,全自动操作
无污染工作区
组件
多达3个喷嘴的自动光刻胶分配器(可选)
产品编号
自旋4000
材料
钢制外壳
基板尺寸
300毫米或8英寸x 8英寸正方形基板
模型
独立的
系统类型
自动化系列
德国SPS(POLOS)匀胶机仪器POLOS SPIN4000A
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